Indonesia Conference Directory

Telah dilakukan penumbuhan nano-katalis Perak (Ag) di atas substrat gelas Corning 7059 dengan metode evaporasi dan diikuti proses annealing pada suhu 400 0C selama 4 jam. Karakterisasi morfologi nano-katalis Ag menggunakan Scanning Electron Microscope (SEM) dan Energy Dispersive Analysis X-ray (EDX). Studi selanjutnya yang telah dilakukan adalah penumbuhan lapisan tipis CNT di atas substrat nano-katalis Ag dengan metode HWC In Plasma-VHF-PECVD pada temperatur deposisi 275 oC dan tekanan 300 mTorr. Daya rf yang digunakan yaitu 8 watt, dengan waktu deposisi selama 60 menit. Sumber karbon yang digunakan adalah gas metan (CH4) 99,999 %. Gas hidrogen (H2) digunakan untuk mengetsa lapisan oksida yang mungkin terbentuk selama proses pra-deposisi. Diameter dan panjang CNT di atas Ag/CG 7059 masing-masing sekitar 393 nm dan 376 nm, untuk sebaran partikel yang masih berbentuk bundel. Sedangkan diameter dan panjang untuk partikel yang berbentuk tube (CNT) masing-masing 125 nm dan 2,989 m. Pada daya tersebut terlihat adanya material CNT tumbuh dengan arah tegak lurus terhadap permukaan substrat dan sejajar permukaan substrat. Kakterisasi selanjutnya pada penumbuhan lapisan tipis CNT ini yaitu menggunakan UV-Visible Dari hasil pengukuran ini dihasilkan band gap 2,096 eV.