Sifat struktur dan optik film ZnO yang didoping dengan Al yang ditumbuhkan dengan metode DC-unbalanced magnetron sputtering
Nathania Frieska Zamris(a), Fanny(a), Arrum Nur Choliza(a), Shibghatullah Muhammady (a), Yudi Darma*(a)
a. Quantum Semiconductor and Devices Lab., Departemen Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Institut Teknologi Bandung, Jalan Ganesha 10 Bandung, 40132, Indonesia
*E-mail: yudi[at]fi.itb.ac.id
Abstract
Kami mempelajari sifat struktur dan sifat optik dari film tipis ZnO yang didoping dengan Al (AZO) yang ditumbuhkan dengan teknik DC-unbalanced magnetron sputtering. Karakterisasi scanning electron microscopy (SEM) memperlihatkan adanya penurunan ukuran grain dengan adanya Al. Melalui pengukuran X-ray diffraction (XRD), bidang-bidang struktur kristal wurtzite dari film tipis AZO didominasi oleh orientasi bidang kristal (100), (101), (102), dan (110). Selanjutnya, spektrum photoluminescence (PL) memperlihatkan perubahan tingkat energi keadaan cacat titik pada film ZnO akibat doping Al. Studi ini menunjukkan bahwa doping Al memiliki peran yang cukup signifikan terhadap sifat struktur dan sifat optik film tipis ZnO yang sangat potensial untuk aplikasi divais multifungsional.
Keywords: AZO,karakterisasi, photoluminescence, SEM, XRD
Topic: Fisika Material Elektronik