Karakterisasi Uv-Vis pada Studi Awal Penumbuhan CNT dengan Prekursor Nanokatalis Ag Menggunakan Metode HWC In Plasma-VHF-PECVD
Ajeng Eliyana dan Toto Winata
Institut Teknologi Bandung
Abstract
Telah dilakukan penumbuhan nano-katalis Perak (Ag) di atas substrat gelas Corning 7059 dengan metode evaporasi dan diikuti proses annealing pada suhu 400 0C selama 4 jam. Karakterisasi morfologi nano-katalis Ag menggunakan Scanning Electron Microscope (SEM) dan Energy Dispersive Analysis X-ray (EDX). Studi selanjutnya yang telah dilakukan adalah penumbuhan lapisan tipis CNT di atas substrat nano-katalis Ag dengan metode HWC In Plasma-VHF-PECVD pada temperatur deposisi 275 oC dan tekanan 300 mTorr. Daya rf yang digunakan yaitu 8 watt, dengan waktu deposisi selama 60 menit. Sumber karbon yang digunakan adalah gas metan (CH4) 99,999 %. Gas hidrogen (H2) digunakan untuk mengetsa lapisan oksida yang mungkin terbentuk selama proses pra-deposisi. Diameter dan panjang CNT di atas Ag/CG 7059 masing-masing sekitar 393 nm dan 376 nm, untuk sebaran partikel yang masih berbentuk bundel. Sedangkan diameter dan panjang untuk partikel yang berbentuk tube (CNT) masing-masing 125 nm dan 2,989 ïm. Pada daya tersebut terlihat adanya material CNT tumbuh dengan arah tegak lurus terhadap permukaan substrat dan sejajar permukaan substrat. Kakterisasi selanjutnya pada penumbuhan lapisan tipis CNT ini yaitu menggunakan UV-Visible Dari hasil pengukuran ini dihasilkan band gap 2,096 eV.
Keywords: Nano-katalis Ag, evaporasi, Uv-Vis, CNT, HWC In Plasma-VHF-PECVD,
Topic: Physics
Link: https://ifory.id/abstract-plain/4Pcm8GKEpgDz